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  • 型号 : 等离子清xi机在微电子元器件加工zhong的应用
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  • 有效行程: 0
  • 电机类型:
  • 传动方shi:
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内rong描述

微电子技能的进步shi得信息、通讯和娱乐融为yiti。选用等离子ti技能施行原子级工艺制作,shi微电讁ou鞑牡膞iao型化成为可能。等离子ti技能yu20世纪90年代进入微电讁ou鞑闹谱鞣冻搿O旅鎗iulai讨论等离子清xi机在核心加工工艺(如刻蚀、堆积以糰n以樱﹝hong的shi用。

等离子清xi机在微电讁ou鞑募庸hong的shi用

20世纪70年代末、80年代chu,等离子ti技能成为集成电路制作工艺zhong的关jian技能。现在,30%的制作工艺要用dao等离子ti。1999年,全球微电子zhi业共采购了价zhi176yimei元的等离子ti设备,这些设备chu产了价zhi2450yimei元的芯片。现在,等离子ti处理技能以shi用yuDRAMS、SRAIMS、MODFETS、薄绝缘zha氧化ceng的chu产以及xinshi光电zi料,如硅锗he金、高温电子zi料(金刚shihuo类金刚shi碳薄膜)、碳化硅、li方氮化peng以及更多zi料和元器材的加工制作。

等离子清xi机在集成电路bu同工序zhong的shi用

制作工序

等离子ti工艺

等离子ti源

光刻

光化学

紫外线

刻蚀

蒸发反响

二极guan、电感耦he等离子ti电源

can杂

离子注入

离子源

检测

成长氧化ceng

PECVD

二极guan、电感耦he等离子ti电源

多晶硅堆积

PECVD

二极guan、电感耦he等离子ti电源

绝缘ceng堆积

PECVD

二极guan、电感耦he等离子ti电源

金属ceng堆积

溅射

磁控guan、PECVD

晶圆的标记

激光

钝化ceng

PECVD

二极guan、电感耦he等离子ti源

feng装


chu产半daoti器材的最chu质料为晶ti硅huo非晶ti薄膜。等离子ti化学气相堆积shichu产a-Si:H的首要技能。等离子ti化学气相堆积工艺凭借等离子ti介质sheng成离子成分,离子成分随后can与反响并在基底外表实现堆积。与传统化学气相堆积工艺比较,等离子ti化学气相堆积工艺可在温度远低yu前者的处理温度下sheng成离子成分,同时,经过离子轰ji,可以对薄膜进行改性。等离子ti化学气相堆积工艺zhong祅a扒i般为经duo性气ti稀释的SH4气ti,反响ze为氢化非晶ti硅薄膜。

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(1)电子和反响气ti发作电子碰撞反响,sheng成离子和自由基;
(2)活性组分从等离子ti传输dao基底外表;
(3)活性组分经过吸附作用huowu化反响堆积dao基底外表;
(4)活性组分huo反响成为堆积薄膜的组成部分。

在高密度等离子ti化学气相堆积工艺zhong,堆积和刻蚀进程往往同时发作。该工艺zhong的三种首要机理为:等离子ti离子辅佐堆积、ya离子溅射以及溅射zi料的再堆积。在 高密度等离子ti化学气相堆积(HDP CVD)工艺zhong,高密度等离子ti源(如感应耦he等离子ti(ICP)、电子回xuan共振等离子ti(ECR)huo螺xuan波等离子ti(helicon))对包han硅烷、氧气和ya气的混he气ti进行激起。经过jiang基底作为阴极,可jiang等离子tizhong的高能正离子招yinzhi晶ti外表,随后氧与硅烷发作反响sheng成氧硅烷,在由ya离子溅射进程除去氧硅烷。

在半daoti制作zhongyi般选用两种印刷线路制版技能,这两种技能彼此具有hubu性。其间yi种技能shijiang电介质印刷dao金属外表,另yi种技能zeshijiang金属镶qian在介质板上。前者即为离子刻蚀(RIE)制版技能,其cao作进程如下:
(1)在晶片外表堆积yicenghou度jun匀的金属ceng;
(2)ran后再外表jun匀di涂yiceng光敏性聚hewu——光刻胶;
(3)经过光学手duanjiang电路图案tou射zhi光刻外表,从而改变其溶解性;
(4)选用反响性刻蚀剂jiang易溶解部分去除,构成yiceng掩模ceng;
(5)jiang未被掩模ceng保护的金属刻蚀去除;
(6)经过等离子ti去胶,jiang光刻胶剥除;
(7)堆积二氧化硅huo氮化硅,钝化外表。

第二种制版技能,即镶qian技能的ling感源自yu历史you久的蕑i蜗鈗ian工艺,huochenda马士革工艺。这种技能需qiuxian在ping面电介质ceng上刻蚀chu纵横分布的gou槽,ran后选用金属堆积工艺jianggou槽内填充金属,从而在yi个ping面上镶qian入所需电路。在堆积yiceng绝缘ceng后,即可重fu进行下yiceng金属薄膜的镶qian。

以上jiushi等离子清xi机在微电讁ou鞑募庸hong的shi用,假如你也有这方面的wen题需qiu解jue。huanyinglai电咨询。




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